通過光學(xué)檢測實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制
單點(diǎn)緊湊型光學(xué)傳感器
半導(dǎo)體和一般微電子領(lǐng)域的晶圓測量
機(jī)械或光學(xué)部件的測量和在線控制
測量和控制玻璃或塑料薄膜的厚度
我們的新型光譜共焦傳感器可實(shí)現(xiàn)高精度無接觸距離和厚度測量。因此，非常適合用于位置和尺寸確定（如微電子元件）、形貌、輪廓等應(yīng)用，以及粗糙度測量（如工具表面）以及玻璃或塑料涂層的厚度測量。
光譜共焦在狹小空間亦具有很大的靈活性。緊湊的控制器和光學(xué)探頭通過光纖連接。這使得它可以單獨(dú)將光學(xué)探頭與控制器分開。此外，探頭不包含任何影響測量準(zhǔn)確性的移動部件或發(fā)熱電子元件。
由于其緊湊的尺寸和經(jīng)濟(jì)的價(jià)格，光譜共焦是傳統(tǒng)激光三角測量傳感器的理想替代品。
| VAS 500 | VAS 4K | VAS 10K | VIS 600 | VIS 4K | VIS 10K | |
| 測量范圍 | 500 μm | 4 mm | 10 mm | 600 μm | 4 mm | 10 mm |
| 工作距離 1) | 12.7±0.5 mm | 37.5±0.9 mm | 71.5±3mm | 6.5 mm | 37.5 ± 0.9 mm | 69 ± 1.7 mm |
| 厚度測量范圍 2) | 最大0.75 mm | 最大6 mm | 最大15 mm | 最大900 μm | 最大 6mm | 最大 15mm |
| 軸向分辨率 | 20 nm | 160 nm | 400 nm | 3 nm | 180 nm | 400 nm |
| 線性精度 | 170 nm | 1.6 μm | 4 μm | 198 nm | 1.4 μm | 4 μm |
| 橫向分辨率 | 2.5 μm | 8.5 μm | 16 μm | 2 μm | 4 μm | 16 μm |
| 測量角度 3) | 90°±45° | 90°±20° | 90°±14° | 90°±30° | 90°± 20° | 90°± 14° |
| 重量 | 250 g | 57g | 86g | 71 g | 162 g | 209 g |
備注：
1) 光學(xué)探頭底部到測試量程中間
2) 折射率 n = 1.5 在透明材料上
3) 大角度偏轉(zhuǎn)時(shí)精度降低
所列數(shù)據(jù)為典型使用環(huán)境下得出，在不同環(huán)境條件下可能不同。
高效性
性價(jià)比高的解決方案
最先進(jìn)的光譜共焦技術(shù)
所有表面的測量
同軸測量，無陰影效應(yīng)
多樣性
易于集成
光學(xué)探頭和控制器獨(dú)立
免維護(hù)，耐用
占用空間少
用戶友好&安全
對溫度和污染不敏感
重量輕
低能耗
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